“等离子物理沉积法?”
吴志明看着黑板上那八个字,一脸茫然。他根本不知道这是什么东西,只觉得这个叫苏城的年轻人,简直狂妄到了极点。
“苏城!你这是什么态度!你知不知道你在跟谁说话!”吴志明气急败坏地吼道。
他身后的德州仪器代表,也皱起了眉头。他虽然也看不懂这八个字的具体含义,但从“等离子”、“物理沉积”这几个词里,他隐约感觉到了一丝不安。这听起来,像是一种完全绕开传统化学光刻胶的技术路线。
“不可能……这绝对不可能……”他用英语喃喃自语,“这只是一个故弄玄虚的bluff(唬人)!”
苏城根本懒得再跟他们废话,直接对门口的警卫连长使了个眼色。
警卫连长心领神会,带着两名荷枪实弹的士兵走了进来,面无表情地对着吴志明等人做了一个“请”的手势。
“你们……你们要干什么!我是商务部的副司长!你们敢……”
吴志明的话还没说完,警卫连长直接拉动了手中步枪的枪栓,发出了清脆的“咔嚓”一声。
冰冷的金属撞击声,比任何语言都更有说服力。
吴志明的脸色瞬间变得惨白,双腿一软,差点没站稳。他再也不敢多说一个字,在士兵冰冷的目光注视下,和那几个同样吓得魂不附体的外国人,连滚带爬地逃离了办公室。
办公室里,重新恢复了安静。
秦老看着黑板上的那八个字,眼神里充满了激动和疑惑。他虽然不是搞这个专业的,但也知道,这绝对是一种颠覆性的技术构想。
“苏城,这个……等离子沉积法,真的能绕开光刻胶的限制?”
“理论上可以。”苏城点了点头,表情重新恢复了平静,“传统的光刻技术,本质上是一个‘化学腐蚀’的过程。光刻胶就是一层感光材料,被紫外线照射到的部分会发生化学变化,然后用化学溶剂把它洗掉,露出下面的晶圆,再进行刻蚀。”
他走到黑板前,用粉笔画了一个简单的示意图:“而我的想法是,完全抛弃‘化学’的路径,改走‘物理’的路径。”
“我们可以在真空环境中,将一种特殊的金属材料作为‘靶材’,用高能等离子束去轰击它。金属原子就会被轰击出来,像下雨一样,均匀地沉积在晶圆表面,形成一层极薄的、可以阻挡刻蚀的金属掩膜。这个过程,不需要任何光刻胶,精度只取决于等离子束的控制水平。”
秦老听得似懂非懂,但他抓住了最关键的