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第七百八十五章 光刻机的技术之墙得用水泡!(4 / 6)

大国工业 华东之雄 5480 字 2个月前

体的技术细节,但是他懂技术的发展路线,仅仅是这个,就会让己方的技术遥遥领先对手了。

在光刻机的技术探索上,有很多失败的例子,尼康的157纳米是个坑,同时,还有光刻机生产厂研究过126纳米光源,但是,这个波长更奇葩,不仅仅是熔石英会吸收,任何材料的吸收都很厉害,透镜不能用,只能用全反射的方式,结构跨度太大,分辨率也没提升多少。

所以,后世的光刻机厂商各种研究,最终认为,干脆一步到位,上 />

这个光源的研究,也是经过了长时间的尝试的,甚至最初还是 />

“这个光源……”徐教授仔细地思考了一番:“得在真空中,还得是反射结构。”

反正继续向下选,各种光源都是需要真空环境加反射镜的,和之前的结构完全不同,所以,一步到位!

寻找反射的条件也不容易,最终工程师们找到了反射率最高的 />

其他的技术路线,X光之类的,都被超越了。

不过,最初的时候,精度并不是特别高,只是比193浸润式光刻机提升了三倍而已,就算是这样,过渡到纳米时代也没问题了,之后不断研究,提升分辨率就可以了。

“具体的结构你们来选择,具体的技术难关,你们来攻克,不过,这条技术路线绝对是没问题的,你们按照这条路线发展就可以!”

秦总虽然是个外行,但是每次提出来的建议都是非常正确的,所以,徐教授没有继续犹豫,点头说道:“好,秦总,那我们就按照这个技术路线来!”

其中有多少技术难题,秦锋也不知道,这是手下们要干的!

现在,总算是没问题了吧?

看到徐教授依旧皱着眉头的样子,秦锋继续问道:“徐教授,还有问题?”

“目前,尼康正在研究 />

秦锋皱着眉头,他最近一直忙活着造车等业务,高科技这一块,从来没输过,所以就没太多关注。

按说台积电应该走下坡路才对,没想到,居然又活过来了?

“台积电后来又从硅谷挖了一批人过来,尤其是蒋尚义,他是个技术天才,继续领导台积电。”

台积电能成为后世的庞然大物,那也是有资本的,林本坚、杨光磊、蒋尚义、孙元成、梁孟松、余振华六个技术大能,就是台积电最强悍的人,而台积电的真正发迹,也就是打赢了 />

将铝互联变成铜互联,使用浸润式光刻机,解决漏电问题……这几个人功不可没。

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