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第四十五章 他的入局,会改变整个行业(2 / 4)

“没错,就是这个道理,通过不同的透镜来组合,控制像差,并最终把光掩膜上的图像精准的投影到硅片上,这想法绝了!”

“说起来是容易,但真正要实现,也不容易啊,像散,场曲,畸变,这里面会遇到的问题海了去了,怎么组合透镜,相互之间的距离和角度,想要研究明白可不是一件容易的事情。”

众人七嘴舌的议论着。

顾一诺一看这架势,还介绍个屁啊,都是高手,一听就明白了。

“原理的话,大概就是这样的原理。”

现如今既然公开,那就是已经申请了相关专利,不怕公开。

就算你知道什么原理,想要自己研究出来,也不是一件容易的事情。

等你再研究出来,人家的光刻机已经铺满全世界了。

顾一诺继续道:“既然是这样,我们就实际演示一下,向各位证明,使用我们的投影式光刻机,真的可以拥有七成以上的良品率。”

众人纷纷点头。

是骡子是马,总要拉出来遛遛才知道。

顾一诺摆摆手,张一龙等人就开始操作起来。

硅片已经提前准备好,并做好了一些列前置,清洗,涂抹光刻胶等操作。

一块英寸的硅片,被安置在了操作平台上。

掩版已经制作好,合上保护罩,开机,高压放电汞灯产生的4纳米光源,穿过掩版,经过一系列透镜,精准的投射在硅片上,完成了曝光。

曝光之后,还要经过显影,刻蚀,互联等一系列环节,才算是完成芯片的制造。

但是经过显影之后,其实一惊可以通过显微镜,观测到硅片上的光刻效果。

当众人通过显微镜,看到硅片上密密麻麻,整齐划一,如一个城市缩影的电路雏形时,内心的震撼已经溢于言表。

“竟然真的可行!”

眼前这个流程,只是演示投影式光刻机的有效。

最终的良品率,肯定还要从后续一系列生产环节,然后对比最终良品芯片数量才能得出结论。

但江一山敢这么宣称,肯定是提前做过测试,得出的准确结论。

而且以他们的见识,立刻看到了投影式光刻机的潜力。

“这东西好啊,渐进式的,衍射太严重了,远不如投影式,既兼顾了精度,又避免了光掩膜直接接触硅片导致的污损。”

“不用看了,这条技术路线绝对可行,能不接触硅片,就

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