腔系统中的对焦单元导入到等离子体态的锡液滴上。”
“锡等离子体产生的光束被收集镜收集起来，并导入到曝光系统中。”
“超导磁场系统位于真空腔外部，并能在腔内产生高强度的磁场，从而保护收集器镜面不受锡等离子体产生的高速锡离子的影响。”
“此外，该系统配备有若干套射击控制回路，如液滴定位控制、激光光束轴、定时控制器，以确保液滴和激光器间能拥有μ至量级的射击精度。”
“在PP技术中注入的材料如S或X在电场作用下生成等离子体，然后磁场对其进一步压缩使之达到高温、高密度并产生辐射。当然在LPP技术中是用激光激发方式产生一些辐射。”
“未来的光刻机主要用S来激发光子，主要的原因是X的转换效率不到%，绝大多数输入能量变成热能，因此效率太低，而且光源散热不容易解决。”
“衡量光源的重要性能指标为转换效率和输出功率，其中转换效率为.附近%带宽内输出的能量占总输入能量的百分比，输出功率则是在中间汇聚点测得的功率。”
一堂课，从晚上七点开始，持续到深夜十点，总算结束了。
杨玄今天一天，连晚饭和午饭都没吃，早就开始饥肠辘辘。
课题落幕时，会场内传来经久不息的掌声。
林副院长激动的上前道：“我们这些老家伙，研究了半导体一辈子，还不及你这个天才的三言两句。”
“你现在是手机硬件、芯片、到激光器、以及现在的光刻机，多个领域你都涉及……”
“杨玄，说句不夸张的话，当今世界，你是绝对不可多得的人才。”
“不敢不敢！我只是大胆假设，还要诸位前辈小心论证才行。”
杨玄拍了拍满手的铅笔粉，万般不好意思的和众人寒暄。
“说个事。”
等杨玄和所有人陆陆续续握手结束后，林副院长将杨玄拉到一旁，悄声道：“刚刚得知，首长来了。”
“首长？”
闻言，杨玄猝不及防的愣了下：“哪个首长？”
“主管国家科技的。”林副院长指着前方的一栋办公楼道：“点名要见你，可能是因为米国对于微电子的制裁，引起了上面重视。”
“现在过去吗？”
杨玄望眼欲穿的看了看办公楼，一脸疑惑。
“当然了。”
林副院长哭笑不得道：“你小子到现在还没吃饭吧？刚好，首长备了一桌子菜，说是要