子体，放电等离子体、和激光辅助放电等离子体都是通过高能量束使靶材产生较高的温升，从而产生高温、高密度的等离子体并发射EUV光。”

“虽然它们的形成方法有所差异，但却可以使用相同靶材，常规用的是锡靶。”

“激光等离子体是以高强度的脉冲激光为驱动能源照射靶材，使靶材产生高温等离子体并辐射EUV光。”

“其中，采用数十千瓦功率的激光从一圆孔进入打在液滴锡靶上，产生的极紫外光通过多层介质膜反射镜反射汇聚在中心焦点处。”

偌大的教室内，一片肃静。

上百名科学院师生，这一刻，无不全神贯注的听着。

面前仅有十岁的杨玄，仿佛为他们打开了新世界的大门，感受极为震撼。

“诸位前辈，uv的技术，目前，在全球也只是刚刚立项，我们现在追赶还来得及。”

杨玄简单讲完之后，郑重道：“但考虑到现实问题，我的个人意见，是科学院如果有意愿，可以成立两个研发团队。”

“第一个研发团队，着手放下，从uv光刻技术开始……”

“第二个研发团队，放眼未来，角逐世界，做好uv的扎实理论，然后全力攻克光源技术。”

“目前，真正把控世界光刻机光源技术的，只有两家公司……”

“一个是米国的y，另一个则是倭国的小松。前者是为何兰阿麦斯光刻机公司提供光源技术支持，后者是为尼康和佳能提供技术支持……”

“以上这两家公司，所采用的光源技术路线，全是激光等离子体……”

“在一个真空腔体中，有强大的二氧化碳激光，通过腔体，照射一束每秒被发射出几万滴的超纯锡液滴。”

“当激光脉冲照射到锡液滴时，液滴会被加热成等离子体并产生EUV射线，反射镜收集器将该过程产生的光线反射到光刻机中。”

“同样，以上两家公司，也将是目前世界上，准分子激光器光源的两大制造商。”

长达一个多小时的讲解说完，杨玄已经口干舌燥了。

末了。

吴德欣老教授率先起身，带头鼓掌。

紧跟着，整个教室内，上百名师生纷纷起立，注视着杨玄，经久不息的掌声跟着传来。

讲台上，杨玄谦虚的双手合十，连连称谢。

“开眼了，真的是开眼了。”

吴德欣教授主动走上去，握着杨玄的手道：“小伙子，uv光刻技术，目前对我们国家